In Wasser gelöstes Ozon kann durch UV-Strahlung leicht zerstört werden – eine Technik, die sich der Ozonvernichter CAT-UVC-1 zunutze macht. Seine verschiedenen Konstruktionsoptionen mit schlanken und länglichen Abmessungen sorgen für seine besondere Eignung zur Montage unter Doppelböden in den Reinräumen der Halbleiterindustrie. Das Tankvolumen ist für schnelle Dump-Prozesse und für intermittierenden Betrieb geeignet.